電容壓力傳感器(例如澤天傳感CYB167)是采用陶瓷材料經(jīng)特殊工藝制造而成的干式陶瓷電容壓力傳感器，陶瓷是一種公認(rèn)的高彈性、抗腐蝕、抗磨損、抗沖擊和振動(dòng)的材料。陶瓷的熱穩(wěn)定特性可以使它的工作溫度范圍高達(dá)-40～125℃，而且具有測(cè)量的高精度、高穩(wěn)定性。

抗腐蝕的干式陶瓷電容壓力傳感器沒(méi)有中間液體的傳遞，過(guò)程壓力直接作用在陶瓷膜片的前表面，襯底的電極與膜片電極的電容量變化比例與壓力大小，電容的變化值經(jīng)激光微調(diào)，內(nèi)置的溫度傳感器不斷測(cè)量介質(zhì)的溫度并進(jìn)行溫度補(bǔ)償。過(guò)載時(shí)，膜片貼到陶瓷襯底上而不會(huì)損壞。當(dāng)壓力恢復(fù)到正常時(shí)，其性能不受任何影響。徹底解決了低量程過(guò)載能力差的缺點(diǎn)。由于沒(méi)有任何填充液，不會(huì)產(chǎn)生工藝污染，因此在食品、醫(yī)藥等行業(yè)有著廣泛的應(yīng)用，加之是干式陶瓷膜片，故不受安裝方向影響，以其作為敏感元件生產(chǎn)的壓力變送器被廣泛地應(yīng)用在各種測(cè)量壓力的場(chǎng)合。

干式陶瓷電容厚膜壓力傳感器的最大特點(diǎn)是：量程可以小到700Pa，抗過(guò)載能力可達(dá)量程10倍，徹底解決了其它類型傳感器沒(méi)有小量程及在小量程時(shí)過(guò)載能力差的缺點(diǎn)。同時(shí)，陶瓷電容壓力傳感器還具有以下特點(diǎn)：

1、堅(jiān)固的陶瓷電容敏感膜片，陶瓷是一種公認(rèn)的高彈性、抗腐蝕、抗磨損、抗沖擊和振動(dòng)、導(dǎo)熱性好的材料；

2、卓越的抗腐蝕、抗磨損性能，陶瓷電容壓力傳感器配合特制的聚四氟墊圈和抗腐蝕外殼材料如聚四氟，聚三氟，坦，蒙乃爾，可以測(cè)所有強(qiáng)腐蝕性介質(zhì)，用于測(cè)量腐蝕性介質(zhì)，如海水的高度測(cè)量，硫酸，硝酸，化學(xué)液體氣體的壓力測(cè)量等；

3、高的抗過(guò)載性能，最大過(guò)載可達(dá)10倍，量程遷移比達(dá)10：1，小量程陶瓷電容過(guò)壓可達(dá)百倍，大量程陶瓷電容過(guò)壓可達(dá)幾十倍，過(guò)載方面，可以與濺射膜壓力傳感器可有一比，完勝擴(kuò)散硅壓力傳感器，這主要是由于陶瓷本身就是高彈性材料，再加上過(guò)壓后陶瓷膜片就貼到后部極板，壓力撤掉后又可以恢復(fù)；

4、高精度、高穩(wěn)定性，陶瓷壓力傳感器溫度范圍可寬至-40℃～125℃,全溫區(qū)誤差不超過(guò)0.2%FS；

5、與濺射膜壓力傳感器一樣，沒(méi)有緩沖傳壓介質(zhì)，具有響應(yīng)迅速，無(wú)遲滯；

6、純凈的陶瓷基體無(wú)中介液不會(huì)產(chǎn)生工藝污染，適用于食品、醫(yī)藥行業(yè)或者腐蝕性液位的測(cè)量；

7、澤天傳感采用陶瓷電容壓力傳感器作為敏感元件的的相關(guān)產(chǎn)品有CYB167、CYB161、ZLM680等。本文源自澤天傳感，轉(zhuǎn)載請(qǐng)保留出處。