現(xiàn)有的壓力傳感器都是基于一種彈性材料的形變，而彈性材料不論其多么優(yōu)良，在每次彈性恢復(fù)后，總會(huì)產(chǎn)生一定彈性疲勞。由于彈性材料引起的漂移根據(jù)材質(zhì)不同各不相同，但是合格的產(chǎn)品，都在規(guī)定的范圍之內(nèi)。

此外，一種材料對(duì)壓力敏感的同時(shí)對(duì)溫度也敏感，任何材料都有其固有的溫度特性，由此引起的的壓力傳感器的輸出變化叫做溫度漂移。通常壓力傳感器都要進(jìn)行溫度補(bǔ)償，利用另一種溫度特性相反的材料抵消溫度引起的變化，或者使用數(shù)字信號(hào)補(bǔ)償技術(shù)。

玻璃微融技術(shù)是擴(kuò)散硅壓力傳感器發(fā)展的初期的一種粘接工藝，其本質(zhì)上是一種擴(kuò)散硅壓力傳感器，就是擴(kuò)散硅芯片和金屬基座之間用玻璃粉封接，與傳統(tǒng)的應(yīng)變片工藝類似，壓力芯片的周圍存在著較大的應(yīng)力，即使經(jīng)過(guò)退火處理，應(yīng)力也不能完全消除，同應(yīng)變片粘貼工藝一樣，玻璃也存在“蠕變”。當(dāng)溫度發(fā)生變化時(shí)，由于金屬、玻璃和擴(kuò)散硅芯片熱澎脹系數(shù)的不同，會(huì)產(chǎn)生熱應(yīng)力，使傳感器的零點(diǎn)發(fā)生漂移。這就是為什么玻璃微融壓力傳感器的零點(diǎn)熱漂移非常大的重要原因。同時(shí)由于蠕變的存在，此種壓力傳感器的常溫零點(diǎn)也存在嚴(yán)重的時(shí)漂問題。

在傳感器的引線工藝方面，由于采用銀漿和接線柱焊接，容易造成接點(diǎn)電阻不穩(wěn)定。特別是在溫度發(fā)生變化時(shí)，接觸電阻更易變化，這些因素是造成傳感器零點(diǎn)時(shí)漂、溫漂大的原因。

要消除壓力傳感器的漂移問題我們可以金硅共熔焊接方法，將擴(kuò)散硅和基座之間采用金硅共熔封接，因?yàn)榻鸨容^軟應(yīng)力小，引壓管是玻璃管將之燒結(jié)到硅環(huán)上，玻璃管和底座用高溫膠粘接，為測(cè)表壓，在玻璃管外粘接一金屬管，通到大氣中。擴(kuò)散硅電阻條組成惠斯登電橋，用高摻雜的方法形成導(dǎo)電，將電橋和分布在周邊的鋁電極可靠地連接起來(lái)，而不采用通常蒸鋁，反刻形成鋁帶的方法，這樣做有助于減小傳感器的滯后，鋁電極和接線柱之間用金絲壓焊和超聲焊，使接點(diǎn)處的電阻比較穩(wěn)定。

通過(guò)一定的材料改進(jìn)和工藝改進(jìn)，雖然在一定范圍內(nèi)可以改善玻璃微融壓力傳感器的零點(diǎn)漂移和溫度漂移，但是從目前市場(chǎng)應(yīng)用的反饋情況來(lái)看，玻璃微融壓力傳感器的穩(wěn)定性還是存在非常大的技術(shù)問題，一些工程機(jī)械設(shè)備制造商和液壓設(shè)備廠紛紛替換原來(lái)的微融技術(shù)的壓力傳感器，而采用技術(shù)更為先進(jìn)、抗惡劣環(huán)境能力更為強(qiáng)大的濺射薄膜壓力傳感器，因此，玻璃微融壓力傳感器技術(shù)改進(jìn)之路還有很長(zhǎng)的路要走。本文源自澤天傳感，版權(quán)所有，轉(zhuǎn)載請(qǐng)保留出處。